升降結(jié)構(gòu)具備自動(dòng)消除升降系統(tǒng)的累積誤差功能，運(yùn)行平穩(wěn)、無振動(dòng)；
爐膽經(jīng)模塊化優(yōu)化設(shè)計(jì)，爐溫均勻性好；
金屬屏加熱室采用進(jìn)口寬幅式鉬鑭合金加熱帶，加熱帶設(shè)有2條筋槽，輻射面積大，長期使用不變形；
加熱帶采用背部絕緣技術(shù)（頂立科技專利），不僅增大輻射面積，而且減少金屬蒸氣對絕緣材料的污染；
配置氬氣氣體壓力下快速冷卻系統(tǒng)（需方選用），確保冷卻效果及高效運(yùn)行；
氫氣工藝：正壓氫氣；負(fù)壓動(dòng)平衡；負(fù)壓脈沖氫氣。
| 參數(shù)\型號 | VHVB-0608SH | VHVB-0808SH | VHVB-1010SH | VHVB-1212SH | VHVB-1215SH |
| 有效熱區(qū) φ×H（mm） | 600×800 | 800×800 | 1000×1000 | 1200×1200 | 1200×1500 |
| 裝載重量（Kg） | 650 | 850 | 1000 | 1150 | 1300 |
| 加熱功率（Kw） | 以訂購設(shè)備最高溫度確定功率數(shù)值 | ||||
| 最高溫度（℃） | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真 空 度(Pa) | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 |
| 壓升率（Pa/h） | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
| ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | |
| 氣冷壓力（bar） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 參數(shù)\型號 | VHVB-1515SH | VHVB-1520SH | VHVB-1825SH | VHVB-2030SH | VHVB-2040SH |
| 有效熱區(qū) φ×H（mm） | 1500×1500 | 1500×2000 | 1800×2500 | 2000×3000 | 2000×4000 |
| 裝載重量（Kg） | 1500 | 2000 | 3500 | 6000 | 8000 |
| 加熱功率（Kw） | 以訂購設(shè)備最高溫度確定功率數(shù)值 | ||||
| 最高溫度（℃） | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 | 1350/1700/2300 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真 空 度(Pa) | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 |
| 壓升率（Pa/h） | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
| ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | |
| 氣冷壓力（bar） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)
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